Generatore di ossigeno per semiconduttore

introduzione al prodotto:

Espansione flessibile:Supporta operazioni indipendenti a unità singola o connessione parallela multi-unità per soddisfare la domanda di ossigeno dai laboratori su piccola scala alle industrie su larga scala.
Risposta rapida:Il tempo di commutazione della torre di adsorbimento è ottimizzato per pochi secondi per garantire un flusso di ossigeno stabile.
Basso costo di manutenzione:I materiali resistenti alla corrosione e il sistema di autopulero vengono utilizzati per ridurre la frequenza di manutenzione dei tempi di inattività.
Risparmio energetico e alta efficienza:Il consumo di energia è inferiore del 30% rispetto a quello dei processi tradizionali: il consumo di energia è ottimizzato attraverso la tecnologia di recupero del bilanciamento della pressione e il sistema di controllo intelligente.
24/7 di funzionamento continuo:supporta un funzionamento completamente automatizzato senza intervento manuale.

Invia la tua richiesta

Descrizione

Parametri tecnici

25+Anni di esperienza
In un servizio unico

NewTek Gas presenta un sistema di generazione di ossigeno PSA (adsorbimento a pressione) all'avanguardia specificamente progettato per ambienti di produzione di semiconduttori. Questa soluzione modulare fornisce ossigeno a puro altissimo al 99,5% con portate comprese tra 5-3000 nm³/h, con funzionalità di integrazione intelligenti per le operazioni di camera pulita.

15K

Progetti finiti

1280+

personale professionale

15K

clienti

100%

Feedback positivo dalla cooperazione

Vantaggi tecnici fondamentali

Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99,999% di purezza
± 0. 5% di stabilità di concentrazione attraverso l'analisi del gas laser in tempo reale
0. 1μm Filtrazione multi-stage (Hepa+UlPA) garantisce la conformità ISO di classe 3

30% di consumo di energia inferiore rispetto ai sistemi convenzionali
Il sistema di recupero del calore riduce il carico termico in ambienti Fab
<65dB(A) noise level with acoustic enclosure option

Il design scalabile montato su skid supporta il 20% -200% di espansione della capacità

Unità di compressione dell'aria (tecnologia di scorrimento senza olio)

Torre di purificazione (rimozione automatica dell'umidità TSA)

Cabinet di controllo intelligente (PLC+HMI con protocollo SECS/GEM)

Applicazioni di processo a semiconduttore

✔ Ossidazione termica
Precision O₂ Supply per Gate Oxide Growth (2-200 Å Control di spessore)
✔ Incisione secca
Fornitura di gas stabile al plasma per pattern su nanosci
✔ Purge della camera CVD
Ossigeno ultra-secco per la prevenzione della contaminazione delle particelle
✔ ricottura del wafer
Controllo dell'atmosfera di alta purezza per l'attivazione drogante

Sistema di monitoraggio intelligente

Monitoraggio dell'impurità in tempo reale (rilevamento a livello di PPB)
Manutenzione predittiva con algoritmo AI (precisione del 98%)
Diagnostica remota tramite piattaforma IIoT (OPC UA/MTConnect)

Semi f 5-0202 standard di gas puliti

Certificazione di sicurezza elettrica CE/UL/ETL

Iso 14644-1 Classe 3 Compatibilità della camera pulita

Forniamo

▲ Rete tecnica globale:Supporto multilingue 24/7 con<4hr response time
▲ Programma di ottimizzazione a vita:Audit di efficienza annuale e servizio di sostituzione del setaccio molecolare (1- Garanzia di anno)
▲Soluzioni personalizzate:Integrazione su misura con sistemi AMHS/MMC
e progettazione del sistema di recupero del gas

Contatta i nostri esperti di gas di semiconduttore

📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
🌐 www.newtekgas.com

Etichetta sexy: Generatore di ossigeno per semiconduttore, generatore di ossigeno in porcellana per produttori di semiconduttori, fornitori